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簡(jiǎn) 介探針卡作為半導(dǎo)體測(cè)試中的關(guān)鍵部件,其探針的尺寸、間距和位置精度直接影響測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此,在生產(chǎn)與檢測(cè)過(guò)程中,必須借助高精度測(cè)量顯微鏡對(duì)探針的形貌、排列及關(guān)鍵尺寸進(jìn)行嚴(yán)格把控。
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