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引領(lǐng)成像速度革新,新一代蔡司多束掃描電鏡正式上市

瀏覽次數(shù):3016 發(fā)布日期:2025-9-23  來(lái)源:蔡司顯微鏡
 
超高速成像
容納大型樣品
自動(dòng)化智能成像流程
多應(yīng)用領(lǐng)域
 近日,蔡司顯微鏡發(fā)布了全新一代多束掃描電鏡——MultiSEM 706
   
極速突破,納米之精
91個(gè)平行電子束同時(shí)成像,每小時(shí)產(chǎn)生超過(guò)3TB的高對(duì)比度、高信噪比的數(shù)據(jù)。對(duì)1 mm2面積切片進(jìn)行4nm像素大小成像僅需不到2分鐘。
 
 
鼠腦切片。左圖使用MultiSEM 706對(duì)165 μm ×143 μm 面積區(qū)域成像,耗時(shí)僅需1.5秒。
右圖為鼠腦切片中30 μm區(qū)域放大效果。樣品由芝加哥大學(xué) B. Kasthuri提供。
 
去加工并拋光后的集成電路,左圖使用MultiSEM 706在1.5秒內(nèi)采集圖像,覆蓋132 μm × 114 μm的六邊形視場(chǎng)。右圖為集成電路30 μm區(qū)域放大效果。樣品由加拿大安大略省TechInsights公司的C. Pawlowicz提供。
  
 
大樣品成像,高通量分析
MultiSEM讓大面積樣品成像成為可能。兼顧超大樣品結(jié)構(gòu)全貌與細(xì)節(jié),結(jié)合序列切片收集,對(duì)完整細(xì)胞,大體積組織甚至完整腦組織進(jìn)行高分辨三維分析。
 
  
使用MultiSEM對(duì)1 mm3人腦皮層組織進(jìn)行高分辨成像,并對(duì)其中的各種細(xì)胞結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維重構(gòu)分析。左圖展示了2 x 3 mm2組織平面中錐體神經(jīng)元的三維重構(gòu)效果。右圖顯示了局部體積神經(jīng)元三維重構(gòu)。圖像由哈佛大學(xué)Lichtman 實(shí)驗(yàn)室提供,渲染圖由D. Berger 制作。
 
逆向工程應(yīng)用:使用MultiSEM,以5nm像素尺寸、100ns點(diǎn)駐留時(shí)間快速完成對(duì)先進(jìn)制程圖形芯片的分層整體掃描,對(duì)數(shù)層結(jié)構(gòu)的成像數(shù)據(jù)可進(jìn)行3D重構(gòu)處理,實(shí)現(xiàn)對(duì)版圖設(shè)計(jì)的驗(yàn)證。單次91束同時(shí)掃描獲取六邊形區(qū)域(長(zhǎng)軸165um)納米級(jí)分辨率圖像只需1.4秒。
 
 
智能控制,化繁為簡(jiǎn)
革新的ZEN軟件操作界面直觀易上手、實(shí)驗(yàn)流程助手將繁瑣的設(shè)置變得簡(jiǎn)單、多重智能輔助功能減輕操作人員工作量、自動(dòng)光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)無(wú)需人為干預(yù)即可保證長(zhǎng)時(shí)間高質(zhì)量成像。
 
自動(dòng)切片檢測(cè),節(jié)省手工勞動(dòng) 智能數(shù)據(jù)管理,保證數(shù)據(jù)完整性 使用ZEN成像軟件控制蔡司MultiSEM
 
 
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