在鋰電、汽車、鋼鐵與半導體等高端制造領域，微米級顆粒與非金屬夾雜物已成為影響可靠性、良率與產(chǎn)品壽命的關鍵因素。清潔度不再只是檢測項目，而是企業(yè)核心競爭力的重要組成部分�？茖W選型，決定質(zhì)量上限。

01.鋰電清潔度管控
ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度檢測
【行業(yè)標準】
鋰電池中的銅、鋅、鐵等金屬異物可能導致嚴重的安全事故，對金屬異物的管控也已成為行業(yè)共識。飛納電鏡 ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度分析系統(tǒng)，基于掃描電鏡 + 能譜法可自動識別、分析和統(tǒng)計銅、鋅、鐵等金屬異物，進而幫助分析異物來源，改善生產(chǎn)條件，減少安全事故的發(fā)生。 

• 全自動識別、分析、統(tǒng)計銅（Cu）/鋅（Zn）等金屬異物
• 7x24h 無人值守，隔夜分析
• 定制化分析程序，滿足各類

磷酸鐵鋰掃描電鏡圖

金屬異物的統(tǒng)計結(jié)果（篩分法）

金屬異物的平均成分（篩分法）

自動獲取的磷化鐵的詳細信息

02.汽車清潔度管控
ParticleX AC 全自動汽車清潔度檢測【電鏡法】
ParticleX 全自動汽車清潔度分析系統(tǒng)通過 SEM-EDS 自動化實現(xiàn)顆粒的尺寸、形貌與化學成分分析，被認為是目前“最有效的清潔度檢測方法之一”，能夠生成符合 ISO/VDA 標準的標準化報告，顯著提升顆粒污染可溯源性和檢測效率。

• 基于 SEM 和 EDS 成分分析
• 符合 VDA19 和 ISO16232 標準
• 7X24h 全自動分析
• 自動檢測 SiO， AlO 等硬質(zhì)顆粒并分類

MicroQuick 高性價比清潔度快速分析儀
MicroQuick 顆粒掃描儀由 RJL 公司開發(fā)，用于快速分析零部件的清潔度。該方法已成為行業(yè)標準已有 15 年多的歷史，并且符合 VDA-19.1 和 ISO-16232 標準。這款高分辨率顆粒掃描儀能夠在不到 3 分鐘的時間內(nèi)自動確定殘留污染物顆粒的數(shù)量、大小、形狀以及金屬光澤。

• 行業(yè)標準：符合 VDA19 / ISO16232
• 快速簡便：2.5 分鐘內(nèi)完成過濾分析并生成報告
• 絕對可靠：10 年內(nèi)零維修案例
• “零”維護：自行校準，自動生成審計報告

03. 鋼鐵夾雜物檢測
ParticleX Steel 全自動鋼鐵夾雜物分析
ParticleX Steel 實現(xiàn)了從樣品制備、圖像采集、成分分析到報告生成的全流程自動化。技術突破在于將掃描電鏡與能譜儀一體化集成，能夠自動識別、分析數(shù)萬至數(shù)十萬個夾雜物顆粒，并依據(jù)國際標準進行分類統(tǒng)計。ParticleX 全自動夾雜物分析系統(tǒng)可對大尺寸樣品進行原位統(tǒng)計，輸出夾雜物數(shù)量、尺寸分布、體積分數(shù)及三元相圖成分分布等結(jié)果。相比手動分析，效率提升 10 倍以上，且支持一鍵定位異常夾雜物進行深度分析。

通過 ParticleX Steel，可以獲得如下結(jié)果： 
01.大量夾雜物的形貌，尺寸，成分，以及分類

鋼鐵行業(yè)部分用戶

04.Fastmicro 潔凈室與制程監(jiān)控
環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀 PFS
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準測量 0.5μm 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進提供科學依據(jù)。

• 符合 ISO 14644-17 標準
• 可檢測低至 0.5μm 顆粒
• 10 秒完成 2 英寸面積檢測
• 適用于真空與常壓環(huán)境

• 符合 ISO 14644-9 標準
• 可檢測低至 0.5μm 顆粒
• 90% 采集效率 | >90% 重復性
• 10 秒完成檢測
• ASML 也在用！

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 說到：“作為長期合作伙伴，F(xiàn)astmicro 的整合應用使我們達成了設備缺陷率指標要求。該設備不僅測量精準，更具備操作簡便和高通量特性。我們高度認可 Fastmicro 的專業(yè)服務，并期待未來通過深度合作進一步拓展設備的功能邊界。”