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1184 次 SDTR一種薄膜面內(nèi)各向異性熱導(dǎo)率的測量方法 2023-12-21
DTR一種薄膜面內(nèi)各向異性熱導(dǎo)率的測量方法近年來，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展，半導(dǎo)體元件的體積急劇減小，對芯片或薄膜材料的熱物性探究至關(guān)重要，這樣給予針對超小尺寸的熱物性探測技術(shù)提供了發(fā)
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