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274 次 利用紫外成像獲得更高的分辨率 2026-1-30
紫外的應用點紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率，能夠量測更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應用于晶圓和掩膜版關(guān)鍵尺寸(CD)測量及缺陷分析。（基于瑞利公式對比，基于紫外光和可見光波
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